[[abstract]]因應TFT-LCD朝向大尺吋產品發展及解析度之提升,其元件結構以銅製程取代鋁靶材作為導線之材料來克服大尺吋、高解析、高精細所產生之訊號延遲現象;高導電性銅蝕刻製程是TFT-LCD產業界發展之方向。銅製程產品線於TFT-LCD製程是剛起步之階段,依據職業安全衛生法第五條第一項第二款規定,新製程、設備導入應於規劃階段實施風險評估,進而探討整體設備安全。銅製程之製程風險為濕蝕刻製程化學品中填加過氧化氫(H2O2),過氧化氫是一種氧化劑,因此對於銅製程及機台設備的安全設計是一項需要探討之研究主題。本研究以7.5代廠濕蝕刻設備作為導入銅製程之評估載具,主要探討過氧化物製程風險特性,參考ISO12100-1所規定的機台安全設計,探討機械設備安全設計,及風險評估等策略,經由PHA初步危害分析及HAZOP危害及可操作性分析兩項風險評估工具,檢討出製程安全上之弱點及安全設計改善方案,以供作為銅製程設備安全設計之參考,研究分析結果如下:1.TFT-LCD濕蝕刻設備因製程有其潔淨度之要求,為防止製程中化學品氣體揮發逸散,多採局限之製程空間,因此當過氧化氫於生產過程或存放於設備內之供應槽體,當產生氧化還原分解時,所釋放之大量氧氣,將易造成管線及閥件等處有破裂風險之疑慮。2.經風險分析所得製程偏移之高危害風險為高濃度、高溫、高壓等項目,因此於設備設計階段,即應將銅離子濃度偵測、製程溫度偵測納入設計考量,並且於管件、閥件及供應槽體應有有效之洩壓設計。3.對於必須進行不同製程切換之設備機台,應針對製程所需不同之化學品切換設計監控機制。[[abstract]]InresponsetothedevelopmentofTFT-LCDtowardslarge-sizeproductsand...
[[abstract]]本系統主要實現於軟體定義網路拓樸(SoftwareDefinedNetwork,SDN)、網路功能虛擬化(NetworkFunctionVirtualization,NFV)等...
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[[abstract]]近年來機器學習與虛擬實境的應用蓬勃發展,在機器學習中深度學習技術使電腦能以類似生物神經網絡的架構進行學習,如物體辨識、語意分析、人工智慧等,其中以影像的學習能力最為出色,甚至能...
[[abstract]]為符合大量市場需求,電腦軟體業者多透過拆封授權模式與消費者締結契約,而拆封授權模式根據交易型態而有所不同,從實體交易的拆封授權模式至因電子商務的蓬勃發展,進而衍生出的點選同意和...
[[abstract]]本研究主要是針對顆粒型農產品,例如脫膜蒜仁等所研發的自動篩選系統,整個自動篩選系統由取像裝置、電腦硬體、軟體辨識系統、打擊設備與運動機構所構成。利用機器視覺辨識選別,可以取代大...
[[abstract]]文學翻譯以傳達風格為要。翻譯風格的決定因素在於譯者的語言技巧,以及譯者意圖的溝通效果。藉由翻譯風格的策略分析可窺知譯者之風格形成因素和溝通功能。以探索翻譯風格要素及其溝通功能的...
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[[abstract]]全民健保為我國重要的社會福利制度,其政策形成的政治背景以及社會理論關係整體策略的執行模式。憲法增修條文第10條第5項明定:「國家應推行全民健康保險,並促進現代和傳統醫藥之研究發...
[[abstract]]本計畫為『全區域色溫可調與溫度監控LED路燈模組開發』,主要目的是開發一全區域色溫可調與溫度監控的LED智慧路燈,針對傳統路燈缺點進行改良並加入智慧監控,提高路燈的節能與附加價...
[[abstract]]台灣人口結構老化速度堪稱全球之冠,我國65歲以上老年人口佔總人口比率之13.33%,老化指數100.18%,屆時每5人就有1名長者,老年人口首度超過幼年人口,約每5.6個青壯人...
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[[abstract]]工業時代的崛起,管道工程系統為現在重工業不可或缺的系統,隨著時代的進步,管道系統也被充分的運用在各種環境。前段時間於2014年對高雄衝擊甚大的氣爆事件,喚醒社會大眾及相關使用管...
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