Fabrication of Soft X-ray Optics and their Characterisation with Labratory and Synchrotron Sources

Die Bedeutung mikroskopischer Verfahren mit Röntgenstrahlung gewinnt in den letzten Jahrzehnten immer mehr Bedeutung. Laserplasmaquellen machen weiche Röntgenstrahlung (0,5-5 nm Wellenlänge) einer größeren Gemeinschaft von Forschern zugänglich und unabhängiger von den Großforschungsanlagen zur Synchrotronstrahlungserzeugung. Insbesondere das Wasserfenster (2,3-4,4 nm Wellenlänge) ist für die Untersuchung biologischer, organischer und anorganischer Proben ein hochinteressanter Spektralbereich. Für viele dieser Anwendungen ist dabei die Manipulation der Röntgenstrahlung erforderlich, die anders als im optisch sichtbaren auf diffraktiven und reflektiven Optiken beruht. Zu diesem Zweck wird die Möglichkeit des Einsatzes diffraktiver Multischicht-Laue-Linsen und ultra-kleiner Lochblenden an optimierten Labor- und Synchrotronstrahlungsquellen untersucht.Within the last decades soft X-ray microscopy methods win increasing importance. Labratory-scale laser-induced plasma sources make this radiation available to a larger community of researchers and independent of large-scale synchrotron facilities. Particularly the spectral region of the water window (2.3-4.4 nm of wavelength) is of great interest for investigating biological, organic and inorganic matter. For many applications it is necessary to manipulate the propagation of the radiation which relies in this spectral on diffractive and reflective optics. For this purpose diffractive multilayer Laue lenses and ultra-narrow holes were investigated in this thesis