Sifat Optik, Struktur Kristal Dan Struktur Mikro Lapisan Tipis Zno:al Pada Substrat Kaca Sebagai Bahan Tco

SIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACASEBAGAI BAHAN TCO. Telah dilakukan karakterisasi sifat optik, struktur kristal dan struktur mikro lapisan tipisZnO:Al hasil deposisi pada substrat kaca sebagai bahan Transparent Conducting Oxide (TCO) untuk sel suryadengan metode DC sputtering. Penelitian ini bertujuan untuk memperoleh hasil lapisan tipis ZnO:Al yang dapatdigunakan sebagai bahan TCO untuk sel surya. Parameter sputtering optimum diperoleh pada kondisi suhu substrat450 oC, tekanan gas 6 x 10-2 torr dan waktu deposisi 1,5 jam. Sifat optik (transmitansi) lapisan tipis ZnO dan ZnO:Almasing-masing (62 - 80) % dan (20 - 68) % pada posisi panjang gelombang (400 - 800) nm. Struktur kristal lapisantipis ZnO dan ZnO:Al terorientasi pada bidang (002) masing-masing dengan sudut hamburan 2q = 34,810o dan34,715o atau terorientasi pada arah sumbu-c yang tegak lurus pada permukaan substrat. Hasil pengamatan strukturmikro dengan SEM, menunjukkan bahwa morfologi permukaan berbentuk butiran-butiran kecil yang terdistribusi cukuphomogen dan mempunyai ketebalan sekitar 1,5 mm untuk lapisan tipis ZnO, sedangkan untuk lapisan tipis ZnO:Alketebalannya sekitar 1,0 mm