Структура та електрофізичні властивості нанокристалічних плівок молібдену

Results of research of the structural-phase state and electrophysical properties (resistivity, temperature coefficient of resistance and strain coefficient of resistivity) of the nanocrystalline films of molybdenum, with condensated in the technological vacuum, is presented. On the basis of electronic-microscopic researches active co-operation of molybdenum is marked with the carbon components of mineral butters and a conclusion is done about formation of carbide of molybdenum in films, which were condensate at rate <0,8 nm/s after annealing in a vacuum.Наведені результати дослідження структурно-фазового стану та електрофізичних властивостей (питомий опір, температурний коефіцієнт опору, коефіцієнт поздовжньої тензочутливості) нанокристалічних плівок молібдену, отриманих у технологічному вакуумі. На основі електронно-мікроскопічних досліджень відмічено активну взаємодію молібдену з вуглецевими компонентами мінеральних масел та зроблено висновок про утворення карбіду молібдену в плівках, отриманих при швидкостях конденсації ω