[[alternative]]Measuring the temperature and density of plasma with self-made

[[abstract]]本論文研究利用自製的浮動電位雙極探針( floating double probes )量 測了電漿的溫度和密度。電漿由自行裝置的真空放電系統產生。我們量測 了放電管中固定位置的溫度和密度的隨時間變化，並變換了幾個位置作量 測，以概略了解溫度與密度的空間變化。放電管的電極距離約10 cm，壓 力為 100 mtorr，放電電壓為 10 kV，而產生之弧光放電電流最大值接近 10kA；此電漿生存了 30-50μS 左右。放電電流由自製電流探測器－ Rogowski 線圈量測，並配合以積分器，以數位示波器將其波形( waveform )記下來，再儲存至個人電腦上以程式分析之。浮動電位雙極探 針之信號由 Tektronix P6021 電流探測器測得。積分後同樣經示波器記 錄，再由 PC 儲存分析之。