Add to ORKG本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差设定值，相位差设定值与相位差检测反馈值输入至PID控制器，PID控制器输出控制信号、光电传感器输出的悬臂梁偏转信号输入至电压加法器，相加后输出至AFM控制器控制探针的加工的深度。本发明通过实时监测悬臂梁的相位值，最终能够实现加工深度信息的实时检测
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统,包括人机交互界面及SPM装置,规划层、操作层,其人机交互界面提供操作者操作需求,由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
本发明涉及一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法。包括以下实现方法：通过二维反馈控制方法让探针的反馈运动方向与水平成一角度，使得探针针尖能够沿着侧壁方向进行逐点触碰扫描，从而实现侧壁形貌点的信息采集...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...
本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差...
本发明涉及一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法，包括AFM系统：用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动；超声辅助系统：用于对纳米薄膜施加超声振动；相位检测系统：用于实现基于探针振...
本发明涉及一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法，包括AFM系统：用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动；超声辅助系统：用于对纳米薄膜施加超声振动；相位检测系统：用于实现基于探针振...
本发明公开一种基于探针增强技术的纳米操作系统，包括人机交互界面及SPM装置，规划层、操作层，其人机交互界面提供操作者操作需求，由规划层求取增强探针初始位置与终止位置的水平坐标差和垂直坐标差及起始位置与...
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本发明通过获得加工深度与相位值的信息，最终实现纳米材料不同深度表面缺陷的精确加工。本发明涉及一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法。方法包括建立超声加工相位与施加机械力信号函数模型,代入...
轻敲模式是原子力显微镜（AFM）最为常见的扫描模式之一。轻敲模式以探针振动信号幅值作为反馈信号，需要实时检测。常规的模拟检测方法误差较大，数字检测方法误差小但运算量较大。本文提出一种改进型的数字锁相放...
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本实用新型涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术,公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置,其特征在于:包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器,所...
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