Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств

Лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника».Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.В лабораторном практикуме приведены описания лабораторных работ по выполнению компьютерного моделирования элементов микроэлектромеханических устройств в программе MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможностях MEMS Pro, представлена методика выполнения лабораторных работ. Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для специальности 210108.65 «Микросистемная техника» и направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и микроэлектроника»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника»