Pengaruh Waktu Anil Terhadap Penumbuhan Lapisan Tipis (Pb(zrxti1-x)o3) Dengan Metode Spin Coating

Telah dilakukan penelitian tentang pengaruh waktu anil terhadap penumbuhan lapisan tipis PZT di atas substrat silikon (100). Proses pembuatan prekursor PZT dilakukan dengan metode sol-gel dan penumbuhan lapisan tipis PZT dengan metode spin coating. Penganilan lapisan tipis PZT menggunakan tanur tipe Barnstead Thermolyne pada suhu 600 oC dengan waktu anil selama satu jam, dua jam, dan tiga jam. Karakterisasi data menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) tipe difraktometer Xpert MPD pada 2θ 15°-70° dengan λkα sebesar 1,540598 Å. Waktu anil mempengaruhi penumbuhan kristal PZT, dengan bertambahnya waktu anil maka ukuran kristal lapisan tipis PZT semakin besar dengan nilai Full Width at Half Maximum (FWHM) semakin kecil. Waktu anil 2 jam menghasilkan struktur kristal terbaik dengan orientasi bidang kristal (001), (101), (110), (111), (200), (102), (211) dan (022); karena jumlah ZrO2 sedikit dan intensitas puncak ZrO2 paling rendah