Initiation à la microélectronique ultime CMOS

RESUME Dans cet article, nous présentons un projet proposé en 1ère année de master et permettant d'appréhen-der le contexte de la microélectronique CMOS, avec en particulier les enjeux actuels de la miniaturisation des compo-sants. Pour cela, les étudiants mettent en œuvre des logiciels de simulation physique de transistors et pratiquent la réali-sation technologique de structures élémentaires en salle blanche, objets qui sont ensuite caractérisés électriquement. Mots clés: MOSFET, roadmap, simulation, technologie, salle blanche, caractérisation électrique