THEORETICAL STUDY OF THE SPATIAL RESOLUTION OF X-RAY MICROANALYSIS IN ANALYTICAL ELECTRON MICROSCOPY

Rdsumd-La re'solution spatiale de la microanalyse par rayons X a Btk etudiee par des calculs Monte-Carlo, en incluant la prodtction d'klectrons secondaires. Les rksultats pour Au Ma dans un film mince d'or de 1000 A h 100 keV diffe'rent de ceux obtenus sans tenir compte de la production d7Qlectrons secondaires. Des calculs ont et6 faits avec la section efficace de Mott au lieu de celle de Rutherford Bcrantke, pour la diffusion Blastique. Des diff6r-ences notables sont trouvkes entre les trois modkles. Abstract- The spatial resolution of X-ray microanalysis has been investigated by Monte Carlo calculatio~s, including knock-on secondary electron production. The results for AuMa in a lOOOA thin Au film at 100 keV showed an appreciable difference from the ones without knock-out events. Also calculations have been done with the Mott cross-section instead of the screened Rutherford cross-section for elastic scattering. A significant difference was found in the results among the three models.