L-265 A physicochemical’interpretation of the photoconductivity of a-Si: H

Résumé. 2014 Dans les films de a-Si: H pulvérisés, le contenu total en hydrogène et sa répartition sur les sites SiH, SiH2 ou H ’ varient avec la posthydrogénation. On constate que la concentration de liaisons libres reste constante. Ces résultats peuvent être expliqués par une diffusion préférentielle de l’hy-drogène à l’intérieur de la zone tissu, alors que les liaisons libres sont localisées dans la zone ilot. La photoconductivité est contrôlée par les défauts sans spin du tissu et décroît si le contenu relatif en sites SiH2 augmente. Abstract. 2014 Total hydrogen content and its distribution among SiH, SiH2 and other H ’ sites of sputtered a-Si: H films vary after posthydrogenation but the dangling bond concentrations remain constant. This can be explained by preferential H diffusion in the tissue zone where most of the hydrogen is located, while the residual dangling bonds are in the islands. The photoconductivity is controlled by spinless defects of the tissue zone originating from back defects of H on their various sites. It decreases as the relative SiH2 content increases